半导体生产
面向污染敏感的半导体制造工艺的受控洁净环境。
应用领域
半导体洁净室应用
在这些典型项目环境中，可根据工艺要求配置百航达洁净室设备及污染控制系统。
电子制造
用于电子装配及精密部件操作的过滤生产区域。
微电子
支持微小颗粒控制及稳定气流分布的洁净室配置。
精密装配
用于高精密装配操作的局部或全室洁净环境。
系统配置
洁净室设备与工程范围
百航达根据项目布局、气流、出入及污染控制要求，组合过滤产品、洁净室设备及模块化房间部件。
✓H13／H14 HEPA 过滤
✓FFU 风机过滤单元
✓智能 FFU 控制选项
✓风淋系统
✓传递窗及洁净室出入设备
✓模块化洁净室建设
为什么选择百航达
洁净室项目支持
稳定气流
配置 FFU 及过滤布局，实现均匀稳定的洁净空气分布。
可扩展 FFU 系统
从单个风机过滤单元到多单元洁净室吊顶布置。
精密环境支持
面向污染敏感的电子及半导体工艺进行设备选型。
定制工程
房间布局及设备配置匹配项目流程和安装条件。
mingda.shop 技术目录
半导体洁净室解决方案 — 工程规格选型说明
本 mingda.shop“半导体洁净室解决方案”项目记录重点说明范围界定、设备配合以及正式方案确定前需要确认的技术资料。
应用核对
洁净室系统需统筹洁净等级、平面布局、人流物流、换气次数、压差梯度、温湿度、末端过滤以及测试验收要求。
选型因素
百航达将所需性能与现场安装及运行条件逐项核对，最终尺寸与配置以项目数据或图纸确认为准。
询价资料清单
为便于准确报价，请提供尺寸、数量、目标等级、风量或房间要求、安装位置、适用时的电源、目的地以及图纸或验证要求。
技术页面编号: MD-5C640157